ELE676 - Procédés de fabrication de microsystèmes

Ce cours vise à maitriser les fondements et les applications des procédés de microfabrication de microsystèmes électroniques, optoélectroniques et de capteurs.

Au terme de ce cours, la personne étudiante sera en mesure de :

• décrire les procédés de microfabrication ainsi que leurs avantages et limites;
• expliquer les principes physiques, les mécanismes d'opération et les matériaux associés aux microsystèmes;
• calculer les paramètres clés des procédés de microfabrication;
• appliquer les procédés de microfabrication en laboratoire, incluant le travail en salle blanche et le respect des protocoles de sécurité;
• analyser des articles scientifiques en lien avec la microfabrication afin d'en extraire les éléments pertinents pour une application ou une discussion technique;
• concevoir un enchainement de procédés adaptés à un microsystème donné.

Éléments de contenu : microfabrication. Microsystèmes électroniques et optoélectroniques. Dispositifs à semiconducteurs. Capteurs physiques, chimiques et optiques. Salle blanche. Protocoles de sécurité. Photolithographie. Dépôt de couches minces. Gravure humide et sèche. Oxydation thermique. Diffusion. Dopage ionique. Épitaxie. Substrats et matériaux semi-conducteurs. Technologie CMOS (Complementary Metal-Oxide-Semiconductor). Systèmes microélectromécaniques (MEMS). Électronique imprimée. Méthodes de caractérisation. Rendement et fiabilité.