ELE797 - Microsystèmes électromécaniques

Ce cours vise à l'initiation aux concepts fondamentaux de la fabrication, de l'analyse et de la conception des microsystèmes électromécaniques (MEMS) en mettant l'accent sur les applications multi-physiques et les systèmes avancés de capteurs et d'actionneurs.

Au terme de ce cours, la personne étudiante sera en mesure de :

• expliquer les concepts de base de la microfabrication des microsystèmes électromécaniques;
• analyser les performances des microsystèmes électromécaniques dans différentes applications multi-physiques;
• concevoir des microsystèmes électromécaniques pour des applications de capteurs et d'actionneurs;
• identifier les limitations de performance des microsystèmes électromécaniques;
• simuler des microsystèmes électromécaniques à l'aide d'outils d'analyse à éléments finis.

Éléments de contenu : introduction aux microsystèmes électro-mécaniques utilisés dans les systèmes radiofréquences, optiques et les dispositifs intelligents. Considérations physiques, mécaniques et électriques. Mécanismes de transduction. Circuits d'interfaçage pour microsystèmes électromécaniques. Méthodologie de conception : modélisation, simulation et analyse de performance. Applications des micro-structures : résonateur, miroir, bolomètre, accéléromètre, récupérateur dénergie, etc.