ELE794 - Microsystèmes électromécaniques
Analyser, modéliser et concevoir des microsystèmes électromécaniques pour utilisation dans plusieurs applications de capteur et d’actionneurs.
Introduction aux microsystèmes électro-mécaniques utilisés dans les systèmes radiofréquences, optiques et les dispositifs intelligents. Considérations physiques, mécaniques et électriques. Mécanismes de transduction. Circuits d’interfaçage pour microsystèmes électromécaniques. Méthodologie de conception : modélisation, simulation et analyse de performance. Applications des micro-structures : résonateur, miroir, bolomètre, accéléromètre, récupérateur d’énergie, etc.
Séances de laboratoire sous forme d’un projet de conception de microsystèmes électromécanique avec des outils de simulation à élément fini et modélisation par langage de description de haut niveau.