ELE676 Procédés de fabrication de microsystèmes

Au terme de ce cours, l'étudiant ou l'étudiante sera en mesure :

• de comprendre les fondements des principes de micro-fabrication de microsystèmes électroniques, optoélectroniques et microcapteurs;
• d'analyser et concevoir la fabrication des micro-dispositifs pour des applications variées dont le biomédical, l’automobile et l’environnement;
• de comprendre les fondements des principes d’opération de différents types de capteurs et les particularités de la fabrication de ceux-ci.

Étapes de micro-fabrication: croissance cristalline, épitaxie, photolithographie, oxydation, diffusion, implantation ionique, dépôt de couches minces, gravure. Étude des matériaux utilisés dans les microsystèmes. Applications de la microfabrication dans des procédés pour la microélectronique, la photonique, les systèmes microélectromécaniques et les capteurs. Méthodes de caractérisation. Rendement et fiabilité.

Travaux pratiques en laboratoire.