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Portes ouvertes

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L'ÉTS vous donne rendez-vous à sa journée portes ouvertes qui aura lieu sur son campus à l'automne et à l'hiver : Samedi 18 novembre 2023 Samedi 17 février 2024 Le dépôt de votre demande d'admission à un programme de baccalauréat ou au cheminement universitaire en technologie sera gratuit si vous étudiez ou détenez un diplôme collégial d'un établissement québécois.

Accueil / Études / Portes ouvertes
Préalable(s)
  • ELE312
Sigle
ELE676
Responsable
Département de génie électrique
Cycle
1er
Crédits
3
Charge de travail
  • Cours (3 h)
  • laboratoire (2 h)

ELE676 - Procédés de fabrication de microsystèmes

Comprendre les fondements des principes de micro-fabrication de microsystèmes électroniques, optoélectroniques et micro-capteurs. Analyser et concevoir la fabrication des micro-dispositifs pour des applications variées dont le biomédical, l’automobile et l’environnement. Comprendre les fondements des principes d’opération de différents types de capteurs et les particularités de la fabrication de ceux-ci.

Étapes de micro-fabrication: croissance cristalline, épitaxie, photolithographie, oxydation, diffusion, implantation ionique, dépôt de couches minces, gravure. Étude des matériaux utilisés dans les microsystèmes. Applications de la micro-fabrication dans des procédés pour la microélectronique, la photonique, les systèmes microélectromécaniques et les capteurs. Méthodes de caractérisation. Rendement et fiabilité.

Travaux pratiques en laboratoire.

Groupe Jour Type
01 Mardi 13:30 Activité de cours
01 Lundi 13:30 TP/Laboratoire aux 2 semaines