Équipements

Fabrication LTCC
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Les équipements LTCC
Imprimante LTCC : P200S
Manufacturier : KEKO
      Perforateur LTCC : PAM4s
Manufacturier : KEKO
 
Découpe et ablation :
Protolaser U3
Manufacturier : LPKF
      Découpeuse : CM-15A
Manufacturier : KEKO
 
Empileur LTCC : IS4PL
Manufacturier : KEKO
      Presse Isostatique : ILS66S
Manufacturier : KEKO
 
Four de frittage : PEO603
Manufacturier : ATV
     


Fabrication MEMS
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Les équipements MEMS
Déposition par plasma : SPT-330H
Manufacturier : Plasmionique
      Aligneur de masque : 800MBA
Manufacturier : OAI
 
Wet bench avec générateur d'eau DI
Manufacturier : STC
      Déposition de résine : WS-400BZ-6NPP/LITE
Manufacturier : Laurell
 
Système d'exposition directe : SF100
Manufacturier : Intelligent Micro patterning
      Système de gravure par faisceau d'Ion ou d'Ion réactif : Nanoquest I
Manufacturier : Intelvac
 
Polisseuse mécanique chimique : RBPo-6
Manufacturier : Rtec Instruments