ELE676 - Procédés de fabrication de microsystèmes
Comprendre les fondements des principes de micro-fabrication de microsystèmes électroniques, optoélectroniques et micro-capteurs. Analyser et concevoir la fabrication des micro-dispositifs pour des applications variées dont le biomédical, l’automobile et l’environnement. Comprendre les fondements des principes d’opération de différents types de capteurs et les particularités de la fabrication de ceux-ci.
Étapes de micro-fabrication: croissance cristalline, épitaxie, photolithographie, oxydation, diffusion, implantation ionique, dépôt de couches minces, gravure. Étude des matériaux utilisés dans les microsystèmes. Applications de la micro-fabrication dans des procédés pour la microélectronique, la photonique, les systèmes microélectromécaniques et les capteurs. Méthodes de caractérisation. Rendement et fiabilité.
Travaux pratiques en laboratoire.