ELE794 Microsystèmes électromécaniques

Analyser, modéliser et concevoir des microsystèmes électromécaniques pour utilisation dans plusieurs applications de capteur et d’actionneurs.

Introduction aux microsystèmes électromécaniques utilisés dans les systèmes radiofréquences, optiques et les dispositifs intelligents. Considérations physiques, mécaniques et électriques. Mécanismes de transduction. Circuits d’interfaçage pour microsystèmes électromécaniques. Méthodologie de conception : modélisation, simulation et analyse de performance. Applications des micro-structures : résonateur, miroir, bolomètre, accéléromètre, récupérateur d’énergie, etc.

Séances de laboratoire sous forme d’un projet de conception de microsystèmes électromécanique avec des outils de simulation à élément fini et modélisation par langage de description de haut niveau.